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TREK 646

PRODUCT HIGHLIGHTS  Supports both Coulombic and Johnsen-Rahbek ESC technologies  User configurable for custom clamp and declamp sequences and wave shapes  Electrostatic chuck profiles can be uploaded to the unit and stored internally via a user-friendly software interface  Reduces backsid

ADVANCEDENERGY

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TI

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更新时间:2025-12-27 11:57:01
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