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PROE-VAP100中文资料

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PROE-VAP100

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功能描述

ProE-Vap® 100 Delivery System

数据手册

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生产厂商

ENTEGRIS

PROE-VAP100数据手册规格书PDF详情

APPLICATIONS

• Atomic layer deposition

• High-κ capacitors and gate

dielectrics

• Metal barriers and electrodes

• Fluorine-free tungsten (FFW)

更新时间:2025-10-17 9:06:00
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