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M-1100中文资料

厂家型号

M-1100

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功能描述

Fiber optic temperature sensing for semiconductor in etch and deposition applications

数据手册

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生产厂商

ADVANCEDENERGY

M-1100数据手册规格书PDF详情

TYPICAL APPLICATIONS

 Plasma etch, electrostatic chuck temperature

 Plasma etch, dielectric window or chamber lid temperature

 Microwave heating

 PEALD, PECVD electrostatic chuck

更新时间:2025-10-14 15:35:00
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